臭氧发生器在第十九世纪早期，人们可以实现特殊功能的臭氧，臭氧是一种强氧化剂，消毒剂，精炼剂，催化剂，广泛用于水处理，医药，化工，食品，造纸和香料的纯化及其他部门。
一百年以上的臭氧已应用于许多领域，对人类的生产技术的发展做出了巨大的贡献。臭氧的应用按用途分为水处理，医药，化工，食品加工和保存的四场，在各个领域的应用研究和设备的发展已经达到一个很高的水平。世界已经形成一个独立的臭氧技术产业和部门，国际臭氧协会（IOA）1973在加拿大成立。国际会议协会每两年举办一次交换臭氧技术，臭氧消毒柜国家发展的文件，报告，发达国家普遍建立，区域组织，学术交流。
第二次世界大战后，国际臭氧应用技术得到迅速发展。首先，1902帕德博恩，德国建立了第一个水处理臭氧水创造了一个大型的，臭氧水处理的先例，现在成千上万的在欧洲和美国，日本的臭氧水在世界上的臭氧水装置中的应用，加拿大和其他国家已达到普及的程度。矿泉水，纯净水设备制造商，几乎所有的臭氧设备。美国开始在国内污水处理七十年的臭氧，主要是为了消毒，污染物的去除，脱色，达到排放标准。在水资源短缺的地区，日本将臭氧处理污水的使用。美国，日本，德国，法国和其他国家近年来已建成的大型臭氧污水处理厂。其次，臭氧产业应用也已非常普遍，主要用于化工，石油，造纸，纺织，医药，香料工业。臭氧消毒机在食品工业中的应用1904在欧洲更受欢迎，使用臭氧保护牛奶，肉类，奶酪，蛋白质和其他食品保鲜，三十年代后期，美国80%冷藏蛋库安装臭氧发生器。第二次世界大战后，欧洲和美国，在日本的水果，新鲜蔬菜，臭氧应用于每一个环节，制造，运输和储存。在医疗方面，日本第二次世界大战对物理治疗臭氧在使用过程中，俄罗斯强烈的气体（臭氧）应用体育。