影响臭氧发生的因素很多，重点几点：
       

一、单位电极表面积

臭氧发生器单位电极表面积的臭氧产率与介电体的介电常数成正比，与介电体厚度成反比。因此青岛欣美净化设备的周欣建议大家应采用介电常数大，厚度薄的介电体。一般采用1～3mm厚的硼玻璃作为介电体。

二、原料气体的含氧量

臭氧发生器原料气体的含氧量高，制备臭氧所需的动力则少，用空气和用氧气制备同样数量的臭氧所消耗的动力相比，前者要高出后者一倍左右。原料选用空气或氧气，需作经济比较决定。

三、原料气中的水分和尘粒

原料气中的水分和尘粒对过程不利，当以空气为原料时，在进入臭氧发生器之前必须进行干燥和除尘预处理。空压机采用无油润滑型，防止油滴带入。干燥可采用硅胶、分子筛吸附脱水，除尘可用过滤器。

四、臭氧产率与电极电压

对单位电极表面积来说，臭氧发生器产率与电极电压的平方成正比，因此，电压愈高，产率愈高。但电压过高很容易造成介电体被击穿以及损伤电极表面，故一般采用15～20kV电压。

五、臭氧发生单元的冷却

臭氧发生单元会与生产臭氧的浓度随电极温度升高而明显下降，为提高臭氧的浓度，青岛欣美净化设备有限公司周欣介绍说，对于大克数的臭氧发生器建议必须采用低温水冷电极。

六、臭氧电源的频率

提高交流电的频率可以增加单位电极表面积的臭氧产率，而且对介电体的损伤较小。一般采用50～500Hz的频率。