由于臭氧发生器是一个非常专业的设备，国外通常采用定期由供应商进行维护保养的方式。但由于费用较高，国内很少会采用这种有偿长期保养的方式。所以在平时使用过程中，定期进行小维护、小保养能够非常有效地延长设备的寿命，可注意以下几点：

(1)通过PLC操作控制柜显示屏定期察看系统各个节点的压力、流量值是否在允许范围。

(2)定期释放空气压缩机、尾气破坏装置的排泄水。

(3)监测臭氧接触池是否处于负压状态。

(4)定期检查尾气破坏装置的加热系统是否正常，定期更换臭氧吸附用触媒等。

(5)及时清洗或更换空气过滤棉。

(6)定期校验监测仪表准确性，及时更换相关器件。