在水处理工艺中，一般分为空气源和氧气源发生器两种工艺。氧气源又叫做富氧源。每一种工艺，最关键的一个部分就是气源的处理。简要说明如下：
空气源臭氧发生器的主要工艺流程为：压缩空气（空压机及配套冷却设备）-过滤器-去水设备（冷干机）-干燥设备（吸附干燥机）-臭氧发生器-臭氧与水混合（曝气、混合塔、射流器、气液混合泵）--臭氧尾气处理（热裂解臭氧尾气破坏器）。
期间，要有露点、臭氧浓度等检测。配合智能PLC系统，可以实现智能、精确投加臭氧。