臭氧同时脱硫脱硝技术实际上是臭氧助硝化的过程。臭氧的强氧化性（氧化还原电位2.06）把难溶于水的一氧化氮NO氧化为易溶于水的高价态氮氧化物，如NO2、N2O3、N2O5等，但实际上，氮氧化物的氧化过程比较复杂，会生成一堆中间氧化物。最后，在洗涤塔内将氮氧化物和二氧化硫同时吸收转化为溶于水的物质，达到脱除的目的。目前大家用Na2S和NaOH等碱溶液进行吸收，NOx的去除率可高达 95%，而SO2去除率可达100%。